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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03252131(A) 申请公布日期 1991.11.11
申请号 JP19900047315 申请日期 1990.03.01
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 IWASA SEIICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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