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发明名称 METHOD FOR FORMING PROTRUDENT ELECTRODE
摘要
申请公布号 JPH03250629(A) 申请公布日期 1991.11.08
申请号 JP19900045458 申请日期 1990.02.28
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 AKASAKI HIROSHI;ISHIDA TAKASHI
分类号 H01L21/60;H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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