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发明名称 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH03249177(A) 申请公布日期 1991.11.07
申请号 JP19900046587 申请日期 1990.02.27
申请人 ARUBATSUKU BII TEII YUU KK 发明人 ARIMA YASUJI
分类号 C23C16/46;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
主权项
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