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经营范围
发明名称
METALHALOGEN LAMP FOR CONTACT PHOTOLITHOGRAPHY
摘要
申请公布号
SU1690024(A1)
申请公布日期
1991.11.07
申请号
SU19894702903
申请日期
1989.06.08
申请人
VNI, üPOEKTHO-KOHCTPÔKTOPCKôö ô TEXHOóO×ôÚECKôö CBETOTEXHôÚECKôö ôHCTôTÔT
发明人
ASHURKOV SERGEJ G,SU;GAVRILKINA GALINA N,SU
分类号
H01J61/00;H01J61/18
主分类号
H01J61/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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