发明名称 TURBO-MOLECULAR PUMP
摘要
申请公布号 JPH03249398(A) 申请公布日期 1991.11.07
申请号 JP19900050603 申请日期 1990.02.28
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 KAWAGUCHI JUICHI
分类号 F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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