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经营范围
发明名称
METHOD AND DEVICE FOR GENERATING IONIZED CLUSTER BEAM
摘要
申请公布号
JPH03247756(A)
申请公布日期
1991.11.05
申请号
JP19900044914
申请日期
1990.02.26
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
NISHIWAKI FUMITOSHI;NAKAGIRI YASUSHI;YAMAMOTO YOSHIAKI;GYOTEN HISAAKI
分类号
C23C14/32
主分类号
C23C14/32
代理机构
代理人
主权项
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