发明名称 |
DEVICE FOR GROWING OXIDE SINGLE CRYSTAL |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03247586(A) |
申请公布日期 |
1991.11.05 |
申请号 |
JP19900043524 |
申请日期 |
1990.02.23 |
申请人 |
FUJIKURA LTD |
发明人 |
MIMURA SHOJI;KUROSAKA AKITO;TOMINAGA HARUO |
分类号 |
C30B15/14;C30B29/30;C30B29/32;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/14 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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