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发明名称 SILICON WAFER AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH03246938(A) 申请公布日期 1991.11.05
申请号 JP19900043593 申请日期 1990.02.23
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP;JAPAN SILICON CO LTD 发明人 MORITA ETSURO;KISHIMOTO MIKIO;TATSUTA JIRO;SHIMANUKI YASUSHI;TANAKA TOSHIRO
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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