| 发明名称 |
APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR LITHOGRAPHY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5063586(A) |
申请公布日期 |
1991.11.05 |
| 申请号 |
US19900528532 |
申请日期 |
1990.05.30 |
| 申请人 |
AT&T BELL LABORATORIES |
发明人 |
JEWELL, TANYA E.;RODGERS, J. MICHAEL |
| 分类号 |
G02B17/06;G03F7/20;G21K1/06;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G02B17/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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