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发明名称 ION IMPLANTER
摘要
申请公布号 JPH03246863(A) 申请公布日期 1991.11.05
申请号 JP19900044019 申请日期 1990.02.23
申请人 TEL VARIAN LTD 发明人 FURUKI KAZUHIRO
分类号 H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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