| 发明名称 |
THIN FILM DEPOSITION SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03247773(A) |
申请公布日期 |
1991.11.05 |
| 申请号 |
JP19900043583 |
申请日期 |
1990.02.24 |
| 申请人 |
TAIYO YUDEN CO LTD |
发明人 |
IMAI MIZUHO;SHIBA NOBUYASU;SEKIGUCHI MIKIO;IIDA HIDEYO |
| 分类号 |
C23C18/12;H01B5/14;H01B13/00;H01L21/283;H01L21/288;H01L31/042 |
主分类号 |
C23C18/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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