发明名称 IMAGE FILING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH03245547(A) 申请公布日期 1991.11.01
申请号 JP19900041082 申请日期 1990.02.23
申请人 HITACHI LTD 发明人 ISHIKAWA SEIJI;SHIMOSHA SADAO;NAKAZATO JUN;TANIGUCHI YUZO;MATSUOKA KAZUHIKO
分类号 H01L21/66;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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