发明名称 WERKWIJZE VOOR HET AANBRENGEN VAN METAALSILICIDES OP SILICIUM.
摘要
申请公布号 NL9000795(A) 申请公布日期 1991.11.01
申请号 NL19900000795 申请日期 1990.04.04
申请人 INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELEKTRONICA CENTRUM, VZW TE LEUVEN-HEVERLEE, BELGIE. 发明人
分类号 C30B31/22;H01L21/285 主分类号 C30B31/22
代理机构 代理人
主权项
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