VERFAHREN ZUM ENTFERNEN VON HOECKERN EINER OBERFLAECHE EINES HALBLEITERKOERPERS MITTELS EINES MECHANO-CHEMISCHEN POLIERVERFAHRENS.,申请号DE19863681696-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUM ENTFERNEN VON HOECKERN EINER OBERFLAECHE EINES HALBLEITERKOERPERS MITTELS EINES MECHANO-CHEMISCHEN POLIERVERFAHRENS.
摘要
申请公布号	DE3681696(D1)	申请公布日期	1991.10.31
申请号	DE19863681696	申请日期	1986.07.29
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US	发明人	BEYER, KLAUS DIETRICH, POUGHKEEPSIE NEW YORK 12601, US;MAKRIS, JAMES STEVE, WAPPINGERS FALLSOENEW YORK 12590, US;MENDEL, ERIC, POUGHKEEPSIE NEW YORK 12603, US;NUMMY, KAREN ANN, NEWBURGH NEW YORK 12550, US;OGURA, SEIKI, HOPEWELL JUNCTION NEW YORK 12533, US;RISEMAN, JACOB, POUGHKEEPSIE NEW YORK 12602, US;ROVEDO, NIVO, POUGHQUAQ NEW YORK 12570, US
分类号	H01L21/76;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/3105;H01L21/74;H01L21/762;H01L21/763;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	H01L21/76
代理机构		代理人
主权项
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