| 摘要 |
<p>Es wird ein Verfahren zum Aufbau eines Sensors, insbesondere eines Luftmassensensors, vorgeschlagen, bei dem mindestens ein Sensor-element aus einem Wafer strukturiert wird. Das Sensorelement wird vom Wafer getrennt und auf ein Substrat aufgebracht. Bei der Strukturierung des Sensorelementes mittels anisotropen Ätzens werden gleichzeitig die außen liegenden Ränder des Sensorelements anisotrop geätzt, so daß das Sensorelement mit dem Wafer, aus dem es strukturiert wird, nur durch dünne Stege verbunden ist, die zur Vereinzelung der Sensorelemente durchtrennt werden. In einen zweiten Wafer wird mittels anisotropen Ätzens mindestens eine Öffnung eingebracht, die entsprechend der geometrischen Abmessungen des Sensorelements dimensioniert wird. Zum Aufbau des Sensors wird das Sensorelement in die Öffnung des zweiten Wafers eingesetzt.</p> |
