发明名称 CLEANING DEVICE FOR DISK SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH03245389(A) 申请公布日期 1991.10.31
申请号 JP19900043238 申请日期 1990.02.22
申请人 SUPIIDE FUAMU CLEAN SYST KK;MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 USUI EIJI;MORITA TOMOJI
分类号 G11B23/50 主分类号 G11B23/50
代理机构 代理人
主权项
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