发明名称 ISOLATIONSVERFAHREN MIT EINER DURCH EINE SCHUTZSCHICHT AUS OXID GESCHUETZTEN ZWISCHENSCHICHT.
摘要
申请公布号 DE3865058(D1) 申请公布日期 1991.10.31
申请号 DE19883865058 申请日期 1988.02.19
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS, INC. (N.D.GES.DES STAATES DELAWARE), CARROLLTON, TEX., US 发明人 HAN, YU-PIN, DALLAS-TEXAS, US;LIOU, FU-TAI, 192 IRVING-TEXAS, US;BRYANT, FRANK R., DENTON-TEXAS, US;CHAN, TSIN C., CARROLTON-TEXAS, US
分类号 H01L21/316;H01L21/32;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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