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发明名称 VERFAHREN ZUR METALLISIERUNG VON INTEGRIERTEN SCHALTKREISEN
摘要
申请公布号 DD295429(A5) 申请公布日期 1991.10.31
申请号 DD19900341863 申请日期 1990.06.20
申请人 FORSCHUNGSINSTITUT MANFRED VON ARDENNE,DD 发明人 GOTTFRIED,CHRISTIAN,DD;KORNDOERFER,CHRISTIAN,DD;HEISIG,ULLRICH,DD;HAMANN,GABRIELE,DD;FISCHER,ANDREAS,DD;SCHNEIDER,HARTMUT,DD
分类号 H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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