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发明名称 PLASMAKONTROLLGERAET FUER DIE HERSTELLUNG VON IC.
摘要
申请公布号 DE3485109(D1) 申请公布日期 1991.10.31
申请号 DE19843485109 申请日期 1984.09.26
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 KISA, TOSHIMASA, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 213, JP
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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