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发明名称 FORMATION OF METAL NITRIDE COATING FILM
摘要
申请公布号 JPH03243772(A) 申请公布日期 1991.10.30
申请号 JP19900039864 申请日期 1990.02.22
申请人 RAIMUZU:KK 发明人 ISHII YOSHIRO;SHIBATA TAKASHI;KOBAYASHI KUNIAKI
分类号 C23C16/34;C23C16/52 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
主权项
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