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发明名称 METHOD OF PRODUCING THIN FILM
摘要
申请公布号 EP0387904(A3) 申请公布日期 1991.10.30
申请号 EP19900105033 申请日期 1990.03.16
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 TOHMA, KIYOKAZU;SUGITA, RYUJI;HONDA, KAZUYOSHI;KAWAWAKE, YASUHIRO;ISHIDA, TATSUAKI
分类号 B29C35/08;B29C59/16;C23C14/02;C23C14/20;(IPC1-7):B29C59/16 主分类号 B29C35/08
代理机构 代理人
主权项
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