发明名称 SURFACE SHAPE MEASURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH03243806(A) 申请公布日期 1991.10.30
申请号 JP19900039704 申请日期 1990.02.22
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NISHIKAWA MASAMITSU
分类号 G01B11/30 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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