| 发明名称 |
CHEMICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03243778(A) |
申请公布日期 |
1991.10.30 |
| 申请号 |
JP19900041505 |
申请日期 |
1990.02.22 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KAWASAKI YOSHIMICHI;TSURUOKA TAIJI;ABE HITOSHI |
| 分类号 |
C01B13/14;C01G1/00;C23C16/44;C23C16/455 |
主分类号 |
C01B13/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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