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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH03244129(A) 申请公布日期 1991.10.30
申请号 JP19900039689 申请日期 1990.02.22
申请人 NEC CORP 发明人 ISHIKAWA MASAOKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/31;H01L27/095 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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