| 发明名称 |
METHOD FOR CLEANING SIOX WITH CHLORINE FLUORIDE GAS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03243688(A) |
申请公布日期 |
1991.10.30 |
| 申请号 |
JP19900040489 |
申请日期 |
1990.02.21 |
| 申请人 |
CENTRAL GLASS CO LTD |
发明人 |
MORI ISAMU;KOBAYASHI YOSHIYUKI |
| 分类号 |
C30B35/00;C09K13/08;C23C14/00;C23C16/44;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065 |
主分类号 |
C30B35/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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