发明名称 Method for optically inspecting of test objects.
摘要 Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur optischen Untersuchung von Prüflingen anhand streifengebender Meßverfahren. Sie ermöglicht die zuverlässige Sprungstellenbeseitigung auch bei stark verrauschten Meßdaten. Es werden aus den Signalen des Kamerasensors (9a) die Differenzen der Phasenwerte sowohl zeilenweise als auch spaltenweise benachbarter Datenpunkte in Subtraktionseinheiten (15, 17) berechnet und in einem Speicher (19a, 19b) abgespeichert. Ein Filter 2 (21) untersucht das Vektorfeld dieser Phasendifferenzen auf lokale Wirbelfreiheit. Solche Gebiete, in denen die Wirbelfreiheit nicht erfüllt ist, werden maskiert. Anschließend berechnet ein Filter 3 (22) die den Wegintegralen entsprechenden Summen um die Ränder dieser maskierten Teilfelder. Teilfelder, für die dieses Wegintegral nicht verschwindet, werden derart vereinigt, daß die Wegintegrale um die vereinigten Teilfelder verschwindet. Aus den Differenzen der Phasenwerte werden dann in den nicht maskierten Datenpunkten durch Wegintegration endgültige Phasenwerte berechnet. Diese endgültigen Phasenwerte sind vom Integrationsweg unabhängig. <IMAGE>
申请公布号 EP0453880(A2) 申请公布日期 1991.10.30
申请号 EP19910105736 申请日期 1991.04.11
申请人 FIRMA CARL ZEISS;CARL-ZEISS-STIFTUNG, HANDELND ALS CARL ZEISS 发明人 FREISCHLAD, KLAUS, DR.
分类号 G01B11/24;G01M11/00;G01N21/88;G01N21/93;G06T7/00;H04N7/18 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
地址