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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03242926(A)
申请公布日期
1991.10.29
申请号
JP19900038329
申请日期
1990.02.21
申请人
KAWASAKI STEEL CORP
发明人
TSUKUMO TOSHIKI
分类号
H01L21/74;H01L21/205;H01L21/225
主分类号
H01L21/74
代理机构
代理人
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