发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03242926(A) 申请公布日期 1991.10.29
申请号 JP19900038329 申请日期 1990.02.21
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 TSUKUMO TOSHIKI
分类号 H01L21/74;H01L21/205;H01L21/225 主分类号 H01L21/74
代理机构 代理人
主权项
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