发明名称 METHOD FOR PULLING UP SINGLE CRYSTAL AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH03242393(A) 申请公布日期 1991.10.29
申请号 JP19900033983 申请日期 1990.02.16
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 NAMIKAWA YASUO
分类号 C30B15/24;H01L21/208 主分类号 C30B15/24
代理机构 代理人
主权项
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