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经营范围
发明名称
PLASMA ETCHING PROCESS
摘要
申请公布号
JPH03241830(A)
申请公布日期
1991.10.29
申请号
JP19900040242
申请日期
1990.02.20
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
KAWAI KENJI;AKAZAWA MORIAKI;MARUYAMA TAKAHIRO;OGAWA TOSHIAKI;MORITA HIROYUKI
分类号
H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;H01L21/3213
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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