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发明名称 HALOGEN-COMPATIBLE HIGH-FREQUENCY DISCHARGE APPARATUS
摘要
申请公布号 US5062116(A) 申请公布日期 1991.10.29
申请号 US19900524302 申请日期 1990.05.17
申请人 POTOMAC PHOTONICS, INC. 发明人 CHRISTENSEN, C. PAUL
分类号 H01J65/04;H01J61/30;H01J65/00;H01S3/03;H01S3/097 主分类号 H01J65/04
代理机构 代理人
主权项
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