发明名称 FORMING METHOD FOR TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM
摘要
申请公布号 JPH03241617(A) 申请公布日期 1991.10.28
申请号 JP19900039231 申请日期 1990.02.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ENDO TETSURO;YOSHIMI TAKUYA;OKAMOTO KENJI
分类号 C23C14/08;C23C14/34;H01B1/16;H01B13/00;H01L21/203 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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