| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING AN AMPHOROUS-SILICON THIN FILM TRANSISTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR910009040(B1) |
申请公布日期 |
1991.10.28 |
| 申请号 |
KR19880017237 |
申请日期 |
1988.12.22 |
| 申请人 |
SEIKOSHA CO.,LTD. |
发明人 |
WADANABE YOSHIAKI;DANAKA SAKAE |
| 分类号 |
H01L27/12;H01L21/027;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/78 |
主分类号 |
H01L27/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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