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发明名称
ANORDNING FOER FRAMSTAELLNING AV ENSKILDA SILIKONKRISTALLER.
摘要
申请公布号
FI911127(A)
申请公布日期
1991.10.28
申请号
FI19910001127
申请日期
1991.03.06
申请人
NKK CORPORATION
发明人
SHIMA, YOSHINOBU;KAMIO, HIROSHI;SUZUKI, MAKOTO
分类号
C30B15/10;C30B15/12;C30B15/14;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B/
主分类号
C30B15/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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