发明名称 ANORDNING FOER FRAMSTAELLNING AV ENSKILDA SILIKONKRISTALLER.
摘要
申请公布号 FI911127(A) 申请公布日期 1991.10.28
申请号 FI19910001127 申请日期 1991.03.06
申请人 NKK CORPORATION 发明人 SHIMA, YOSHINOBU;KAMIO, HIROSHI;SUZUKI, MAKOTO
分类号 C30B15/10;C30B15/12;C30B15/14;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B/ 主分类号 C30B15/10
代理机构 代理人
主权项
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