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发明名称 QUARTZ PIPELINE SYSTEM AND CONNECTING DEVICE OF PIPING PARTS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH03239900(A) 申请公布日期 1991.10.25
申请号 JP19900037030 申请日期 1990.02.17
申请人 MAEKAWA SHUNICHI 发明人 MAEKAWA SHUNICHI
分类号 F17D1/00;C03B19/14;C03B20/00;C03B23/04;C03B37/014;C03B37/018;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 F17D1/00
代理机构 代理人
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