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发明名称 SELECTIVE GROWTH METHOD OF METAL FILM
摘要
申请公布号 JPH03240232(A) 申请公布日期 1991.10.25
申请号 JP19900037955 申请日期 1990.02.19
申请人 SONY CORP 发明人 SATO JUNICHI
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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