发明名称 WASHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03238073(A) 申请公布日期 1991.10.23
申请号 JP19900034681 申请日期 1990.02.15
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAMURA KATSUHIKO
分类号 B08B3/10;H01L21/304 主分类号 B08B3/10
代理机构 代理人
主权项
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