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发明名称 ELECTRICALLY CONDUCTIVE RESIST COMPOSITION, PROCESS FOR ITS PRODUCTION AND ITS USE
摘要
申请公布号 EP0382046(A3) 申请公布日期 1991.10.23
申请号 EP19900101765 申请日期 1990.01.30
申请人 HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 KAMPF, GUNTHER, DR.;FELDHUES, MICHAEL, DR.;SCHEUNEMANN, UDE, DR.;LINGNAU, JURGEN, DR.;DAMMEL, RALPH, DR.
分类号 G03F7/004;C08G61/10;C08G61/12;G03F7/027;G03F7/032;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/027 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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