双直流等离子体化学气相沉积装置

摘要

本发明为一种双直流等离子体化学气相沉积装置，在现有直流等离子体化学气相沉积的基础上，增设一套对工件加热的电极，使镀膜时，工件的温度参数摆脱了其它参数的限制，实现了各参数的独立控制，从而使不同形状、不同体积的工件均能得到均匀的加热温度，避免了膜层脱落，污染和出现针孔等现象，使膜层的性能得到改善，同时使工作电压能够始终保持在辉光放电阶段，不会由于产生弧光而使膜层形成熔斑，镀膜参数的调整和确定也得到简化。

主权项

1、一种双直流等离子体化学气相沉积装置，它包括真空室、与真空室相联的真空系统和充气系统，安装在真空室内并与真空室相绝缘的工件架，工件架接电源负极，真空室或一独立阳极板接电源正极，其特征是真空室内工件外围设有辅助电极并设有辅助直流电源。