发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03237716(A) 申请公布日期 1991.10.23
申请号 JP19900035004 申请日期 1990.02.14
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MUNETA TAKAYUKI;MATSUNAGA DAISUKE
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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