发明名称 METHOD AND DEVICE FOR TREATING WASHING, ETC.
摘要
申请公布号 JPH03237718(A) 申请公布日期 1991.10.23
申请号 JP19900032470 申请日期 1990.02.15
申请人 SHIOYA SEISAKUSHO:KK 发明人 TOMOTO CHIHARU
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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