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发明名称 INTERLAYER INSULATING FILM FOR MULTILAYER WIRING
摘要
申请公布号 JPH03237743(A) 申请公布日期 1991.10.23
申请号 JP19900034269 申请日期 1990.02.15
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD;KAJIWARA NARUYUKI 发明人 YAMASHITA YOSHIO;JINBO HIDEYUKI;KAWAZU YOSHIYUKI;KAJIWARA NARUYUKI
分类号 H01L21/768;H01L21/316;H01L23/522 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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