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发明名称 MANUFACTURE OF BUMP
摘要
申请公布号 JPH03237724(A) 申请公布日期 1991.10.23
申请号 JP19900032352 申请日期 1990.02.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YODA TOSHIYUKI
分类号 H01L21/60;H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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