| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03237713(A) |
申请公布日期 |
1991.10.23 |
| 申请号 |
JP19900034995 |
申请日期 |
1990.02.14 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
YAMAMOTO KOSAKU;KAWACHI TETSUYA;SAITO TETSUO;YAMAMOTO TAMOTSU;OZAKI KAZUO |
| 分类号 |
H01L21/365;H01L21/208;H01L21/368 |
主分类号 |
H01L21/365 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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