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经营范围
发明名称
THIN FILM MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03237304(A)
申请公布日期
1991.10.23
申请号
JP19900033298
申请日期
1990.02.14
申请人
ANELVA CORP
发明人
HATAKEYAMA TADAO;HORIGUCHI AOSHI
分类号
G01B11/06;C23C14/54;C23C14/56
主分类号
G01B11/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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