发明名称 THIN FILM MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03237304(A) 申请公布日期 1991.10.23
申请号 JP19900033298 申请日期 1990.02.14
申请人 ANELVA CORP 发明人 HATAKEYAMA TADAO;HORIGUCHI AOSHI
分类号 G01B11/06;C23C14/54;C23C14/56 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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