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发明名称
TARGET FOR ALIGNING IC CHIP
摘要
申请公布号
JPH03236250(A)
申请公布日期
1991.10.22
申请号
JP19900032798
申请日期
1990.02.13
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
MITSUZAWA TETSUHIRO
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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