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经营范围
发明名称
VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03237085(A)
申请公布日期
1991.10.22
申请号
JP19900031558
申请日期
1990.02.14
申请人
HITACHI LTD
发明人
TAMURA NAOYUKI;OGAWA YOSHIFUMI
分类号
C30B23/00;C23C14/00;C23C14/24;C30B23/08;H01L21/203
主分类号
C30B23/00
代理机构
代理人
主权项
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