| 发明名称 |
RAPID THERMAL PROCESS FOR OBTAINING SILICA COATINGS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5059448(A) |
申请公布日期 |
1991.10.22 |
| 申请号 |
US19900539249 |
申请日期 |
1990.06.18 |
| 申请人 |
DOW CORNING CORPORATION |
发明人 |
CHANDRA, GRISH;MARTIN, THERESA E. |
| 分类号 |
B05D3/06;C08J7/04;C09D183/00;C09D183/02;C23C18/12;H01L21/312;H01L21/314;H01L21/316 |
主分类号 |
B05D3/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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