发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03236238(A) 申请公布日期 1991.10.22
申请号 JP19900033436 申请日期 1990.02.13
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TSUNODA KAZUO
分类号 H01L21/3205;H01L21/203;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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