发明名称 |
PHOTO EXCITED VAPOR GROWTH METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03237097(A) |
申请公布日期 |
1991.10.22 |
申请号 |
JP19900032579 |
申请日期 |
1990.02.15 |
申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
FUJITA YUKIHISA;TERADA TOSHIYUKI;FUJII SATOSHI;INAI TORU |
分类号 |
C01G9/00;C01G9/08;C23C16/00;C23C16/30;C23C16/48;C30B29/48 |
主分类号 |
C01G9/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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