发明名称 PHOTO EXCITED VAPOR GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH03237097(A) 申请公布日期 1991.10.22
申请号 JP19900032579 申请日期 1990.02.15
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 FUJITA YUKIHISA;TERADA TOSHIYUKI;FUJII SATOSHI;INAI TORU
分类号 C01G9/00;C01G9/08;C23C16/00;C23C16/30;C23C16/48;C30B29/48 主分类号 C01G9/00
代理机构 代理人
主权项
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