| 发明名称 |
ATMOSPHERIC PLASMA SURFACE TREATMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03236475(A) |
申请公布日期 |
1991.10.22 |
| 申请号 |
JP19900029436 |
申请日期 |
1990.02.13 |
| 申请人 |
OKAZAKI SACHIKO;IIC KAGAKU KOGYO KK;KOKOMA MASUHIRO |
发明人 |
UCHIYAMA HIROSHI;OKAZAKI SACHIKO;KOKOMA MASUHIRO |
| 分类号 |
H05H1/24;C08J7/00;C23C16/50;D06M10/00;D06M10/02;D06M10/04;D06M13/02;D06M13/03;D06M13/07;D06M13/224;D06M13/248;D06M13/325;D06M13/328;D06M13/51;D06M13/513;D06M13/517;D06M15/643;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 |
主分类号 |
H05H1/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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